摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種微氣泡發(fā)生器及其制備方法。微氣泡發(fā)生器包括襯底、兩個(gè)電極和碳納米管；兩個(gè)電極均包含石墨烯，碳納米管通過(guò)石墨烯連接兩個(gè)電極，碳納米管用作加熱組件。制備方法包括如下步驟：在生長(zhǎng)有石墨烯的金屬箔表面旋涂PMMA；除去金屬箔，將PMMA保護(hù)的石墨烯轉(zhuǎn)移至襯底上，熱處理使石墨烯與襯底緊密結(jié)合；除去PMMA；通過(guò)光刻和反應(yīng)離子刻蝕得到兩個(gè)石墨烯電極；在襯底上覆蓋Cu2O納米粒子，用Cu2O納米粒子作催化劑，碳?xì)浠衔镒魈荚?，采用低壓CVD工藝，在800～950℃下，生長(zhǎng)與石墨烯電極垂直的水平定向碳納米管。本發(fā)明降低了微氣泡發(fā)生器的功耗，有效延長(zhǎng)了微氣泡發(fā)生器的壽命，且器件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)靈活，具有良好的高頻響應(yīng)和密集集成潛力。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人周文利;鄧武竹;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410017876.7
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年01月15日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103769025B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年12月09日
- 分類(lèi)號(hào)B01J19/08(2006.01)I;
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