摘要：本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體工廠設(shè)備的分布式管理系統(tǒng)，包括設(shè)備服務(wù)端，數(shù)據(jù)中心服務(wù)器以及遠(yuǎn)程終端。其中，設(shè)備服務(wù)端與半導(dǎo)體工廠內(nèi)的各設(shè)備進行數(shù)據(jù)交互；數(shù)據(jù)中心服務(wù)器與設(shè)備服務(wù)端和遠(yuǎn)程終端相連，并進行數(shù)據(jù)交互；遠(yuǎn)程終端通過所述數(shù)據(jù)中心服務(wù)器獲取各設(shè)備的數(shù)據(jù)以及對各設(shè)備進行數(shù)據(jù)管理。本發(fā)明能夠輔助使用者對半導(dǎo)體工廠設(shè)備進行遠(yuǎn)程托管。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人魏靖南;張立超;鐘結(jié)實;賈軼群;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410058363.0
- 申請時間2014年02月20日
- 申請公布號CN103763401A
- 申請公布時間2014年04月30日
- 分類號H04L29/08(2006.01)I;
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