摘要：本發(fā)明涉及一種半導體熱處理設備的熱電偶故障診斷與處理方法及系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括濾波器、感溫模塊、邏輯處理器、溫度控制器和電力控制單元，以形成閉環(huán)控制；其中，熱電偶采集熱處理設備溫度數(shù)據經過濾波器，再經過感溫模塊后進入邏輯處理器，邏輯處理器基于短路異常狀態(tài)模型對熱電偶采集的溫度數(shù)據進行處理，判斷當前熱電偶的工作狀態(tài)生成相應的處理對策，并將處理對策發(fā)送給溫度控制器，溫度控制器根據處理對策生成控制參數(shù)，發(fā)送給電力控制單元執(zhí)行，其中，處理對策考慮各控溫區(qū)間的耦合效應，實現(xiàn)多控溫區(qū)間控制協(xié)調補償。因此，本發(fā)明能判斷出控溫熱電偶的短路故障，且能夠及時切換到相應的控溫模式，保證工藝的繼續(xù)進行，將損失降到最低。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人徐冬;王艾;張乾;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201410058381.9
- 申請時間2014年02月20日
- 申請公布號CN103759860A
- 申請公布時間2014年04月30日
- 分類號G01K15/00(2006.01)I;G01K7/02(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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