摘要：本發(fā)明提出一種輔助支撐裝置，應(yīng)用于光刻機(jī)的支撐裝置。支撐裝置包括支撐板、基座和洛倫茲電機(jī)。洛倫茲電機(jī)固定于基座并支撐支撐板。輔助支撐裝置包括膜、氣源和控制閥。膜連接于基座，與基座形成氣室，用以承載支撐板。氣源用以提供氣體給氣室?？刂崎y設(shè)置于氣室的通氣孔及氣源之間，用以調(diào)節(jié)氣室的氣壓。本發(fā)明在利用洛侖茲電機(jī)的同時(shí)，利用可移動(dòng)的膜承載支撐板，通過氣動(dòng)控制氣室的壓力，以較低頻率驅(qū)動(dòng)支撐板，同時(shí)發(fā)熱極小。由于采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)支撐板，降低洛侖茲電機(jī)的出力，從而洛侖茲電機(jī)的發(fā)熱也會(huì)大大減少。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，易于控制。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人上海微電子裝備有限公司;華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人廖飛紅;李小平;朱岳彬;秦磊;
- 地址201203 上海市浦東新區(qū)張東路1525號
- 申請?zhí)?/b>CN201210118764.1
- 申請時(shí)間2012年04月20日
- 申請公布號CN103375660B
- 申請公布時(shí)間2016年11月23日
- 分類號F16F15/023(2006.01)I;
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