摘要：本發(fā)明提出了一種精密定位一維平臺，包括運動機構(gòu)、與所述運動機構(gòu)連接的定位平臺，所述運動機構(gòu)包括電機、設(shè)置于所述電機上的連接架和設(shè)置于所述連接架上的壓電驅(qū)動器，所述定位平臺與所述壓電驅(qū)動器連接。本發(fā)明在音圈電機實現(xiàn)高加速、高速和長行程的同時，通過壓電驅(qū)動器補償音圈電機的誤差，同時通過緩沖減振臺來消除音圈電機的在運動過程中的振動，最終實現(xiàn)高加速、高速、長行程和超精密定位的一維運動。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人東莞華中科技大學(xué)制造工程研究院;
- 發(fā)明人張璐凡;隆志力;方記文;念龍生;李澤湘;
- 地址523808 廣東省東莞市松山湖科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)科技九路1號
- 申請?zhí)?/b>CN201310068434.0
- 申請時間2013年03月04日
- 申請公布號CN103219049B
- 申請公布時間2015年04月29日
- 分類號G12B5/00(2006.01)I;
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