摘要：本發(fā)明公開了一種鋯鈦酸鉛厚膜的制備方法，用于在鈦片上生成鋯鈦酸鉛厚膜，該方法具體包括：在高壓釜內(nèi)膽中配置前驅溶液；將鈦片垂直浸入前驅溶液中，并將高壓釜放入磁力攪拌器中進行磁力攪拌；最后，取出鈦片，即可實現(xiàn)在鈦片上反應生成鋯鈦酸鉛（PZT）厚膜。本發(fā)明還公開了一種利用上述方法制備的鋯鈦酸鉛厚膜。本發(fā)明的制備過程在液相中一次完成，不需要后期熱處理，避免了溫度過高導致基板與厚膜之間成分互擴散，而且膜的厚度可以通過重復結晶過程的次數(shù)來控制，簡單可行，另外所制備的膜不受襯底的尺寸和形狀控制，PZT厚膜可以制備在三維結構的表面，而且制備的PZT厚膜表面均勻，成分在準同型相界附近。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發(fā)明人朱本鵬;許炯;郭萬克;張悅;陳實;楊曉非;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201310075338.9
- 申請時間2013年03月11日
- 申請公布號CN103193482B
- 申請公布時間2015年09月09日
- 分類號B32B7/02(2006.01)I;C04B35/491(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
