摘要：本發(fā)明公開了一種透射式全穆勒矩陣光譜橢偏儀及其測量方法，方法是將起偏臂產(chǎn)生的調(diào)制光線投射到待測樣件表面，檢偏臂將待測樣件反射(或透射)的光線解調(diào)并接收，通過對測量光譜進行諧波分析，計算獲得待測樣件的全穆勒矩陣信息，并通過非線性回歸，庫匹配等算法擬合提取待測樣件的光學(xué)常數(shù)，特征形貌尺寸等信息。橢偏儀包括起偏臂(包括光源，透鏡組，起偏器和伺服電機驅(qū)動的補償器)，待測樣件和檢偏臂(包括伺服電機驅(qū)動的補償器，檢偏器，透鏡組和光譜儀)。本發(fā)明可實現(xiàn)各種信息光電子功能材料和器件，以及納米制造中各種納米結(jié)構(gòu)的在線測量，具有非破壞性，快速和低成本的特點。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人華中科技大學(xué);
- 發(fā)明人劉世元;李偉奇;張傳維;陳修國;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
- 申請?zhí)?/b>CN201310040729.7
- 申請時間2013年01月31日
- 申請公布號CN103134592B
- 申請公布時間2015年11月04日
- 分類號G01J3/447(2006.01)I;
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