摘要：本發(fā)明公開了基于微偏振片陣列的數(shù)字電子剪切散斑干涉儀，包括激光器、位于激光器出射光束光路上的擴(kuò)束鏡和被測(cè)物體；還包括位于從被測(cè)物體表面反射的光束的光路上且用于得到偏振方向相互垂直的兩束相干線偏振光的剪切器、設(shè)置從剪切器出射的光束的光路上的微偏振片陣列、與微偏振片陣列相連的感光元件和與感光元件相連的用于對(duì)感光元件采集的信號(hào)進(jìn)行傳輸和處理的處理設(shè)備。優(yōu)點(diǎn)：一次曝光即可獲得多次相移，可達(dá)到實(shí)時(shí)檢測(cè)的效果；光路中簡(jiǎn)化了產(chǎn)生相移的裝置；由于產(chǎn)生相移的微偏振片陣列直接集成到感光元件上，抗振要求降低。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人南京中迅微傳感技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人張志剛;張青川;符師樺;程騰;張勇;
- 地址211316 江蘇省南京市高淳經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)古檀大道三號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310008494.3
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年01月10日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103048268B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年05月27日
- 分類號(hào)G01N21/01(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I;
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