摘要：本發(fā)明公開了基于微偏振片陣列的數(shù)字電子剪切散斑干涉儀，包括激光器、位于激光器出射光束光路上的擴束鏡和被測物體；還包括位于從被測物體表面反射的光束的光路上且用于得到偏振方向相互垂直的兩束相干線偏振光的剪切器、設置從剪切器出射的光束的光路上的微偏振片陣列、與微偏振片陣列相連的感光元件和與感光元件相連的用于對感光元件采集的信號進行傳輸和處理的處理設備。優(yōu)點：一次曝光即可獲得多次相移，可達到實時檢測的效果；光路中簡化了產(chǎn)生相移的裝置；由于產(chǎn)生相移的微偏振片陣列直接集成到感光元件上，抗振要求降低。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人南京中迅微傳感技術有限公司;
- 發(fā)明人張志剛;張青川;符師樺;程騰;張勇;
- 地址211316 江蘇省南京市高淳經(jīng)濟開發(fā)區(qū)古檀大道三號
- 申請?zhí)?/b>CN201310008494.3
- 申請時間2013年01月10日
- 申請公布號CN103048268A
- 申請公布時間2013年04月17日
- 分類號G01N21/01(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I;
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