摘要：本發(fā)明公開了一種利用反射泰鉑效應(yīng)成像的方法及其應(yīng)用及裝置，用激光束作照明光源，通過光路修整激光的波形后，對(duì)不透明的周期結(jié)構(gòu)樣品進(jìn)行照射，使照射后產(chǎn)生的反射光束在反射泰鉑像屏上成像。本發(fā)明采用激光作為光源，通過光路修整激光的波形后，對(duì)不透明的周期結(jié)構(gòu)樣品進(jìn)行照射，使照射后產(chǎn)生反射自成像。本發(fā)明可應(yīng)用于各種激光微加工結(jié)構(gòu)的觀察與控制系統(tǒng)中，特別是在硅基上的光子晶體與波導(dǎo)的光子制備中，它能對(duì)真空腔中的樣品實(shí)現(xiàn)在線的反射泰鉑成像放大與顯微分析，極大的簡(jiǎn)化了硅基上微結(jié)構(gòu)的放大與顯微工序，提高了生產(chǎn)效率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人貴州大學(xué);
- 發(fā)明人黃偉其;
- 地址550025 貴州省貴陽(yáng)市花溪區(qū)貴州大學(xué)北校區(qū)科學(xué)技術(shù)處
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210304971.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年08月26日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102890060A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2013年01月23日
- 分類號(hào)G01N21/17(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B21/36(2006.01)I;
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