摘要：本發(fā)明公開一種帶有減振機(jī)構(gòu)的真空操作平臺(tái)，通過真空腔殼與密封法蘭固定連接，密封法蘭與減振法蘭固定連接，而上波紋管固定連接于平臺(tái)支撐板和減振法蘭之間，下波紋管固定連接于密封法蘭與平臺(tái)支撐板之間。當(dāng)振動(dòng)產(chǎn)生時(shí)，真空腔殼將振動(dòng)傳遞給密封法蘭，密封法蘭直接將振動(dòng)傳遞給下波紋管，同時(shí)密封法蘭的振動(dòng)通過輔助支撐件傳遞至減振法蘭后傳遞給上波紋管，減振法蘭可以沿著輔助支撐件軸向調(diào)整以調(diào)整同時(shí)調(diào)整上波紋管和下波紋管的形變，目的是使得上波紋管傳遞到平臺(tái)支撐板的振動(dòng)力與下波紋管傳遞到平臺(tái)支撐板的振動(dòng)力方向相反，有效的減小平臺(tái)支撐板的振動(dòng)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人曹桂英;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條13號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201210263386.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年07月27日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN102818587B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年08月20日
- 分類號(hào)G01D11/30(2006.01)I;G01D11/10(2006.01)I;
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