摘要：本發(fā)明公開一種帶有減振機構(gòu)的真空操作平臺，通過真空腔殼與密封法蘭固定連接，密封法蘭與減振法蘭固定連接，而上波紋管固定連接于平臺支撐板和減振法蘭之間，下波紋管固定連接于密封法蘭與平臺支撐板之間。當振動產(chǎn)生時，真空腔殼將振動傳遞給密封法蘭，密封法蘭直接將振動傳遞給下波紋管，同時密封法蘭的振動通過輔助支撐件傳遞至減振法蘭后傳遞給上波紋管，減振法蘭可以沿著輔助支撐件軸向調(diào)整以調(diào)整同時調(diào)整上波紋管和下波紋管的形變，目的是使得上波紋管傳遞到平臺支撐板的振動力與下波紋管傳遞到平臺支撐板的振動力方向相反，有效的減小平臺支撐板的振動。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人曹桂英;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關村北二條13號
- 申請?zhí)?/b>CN201210263386.6
- 申請時間2012年07月27日
- 申請公布號CN102818587B
- 申請公布時間2014年08月20日
- 分類號G01D11/30(2006.01)I;G01D11/10(2006.01)I;
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