摘要:本發(fā)明涉及一種磁懸浮分子泵的模糊控制方法包括:通過檢測裝置檢測分子泵實現(xiàn)靜態(tài)懸浮時的徑向磁軸承靜態(tài)電流信息、軸向磁軸承靜態(tài)電流信息,分子泵工作時的轉(zhuǎn)子位移偏差和轉(zhuǎn)子位移偏差變化率;根據(jù)徑向磁軸承靜態(tài)電流信息和軸向磁軸承靜態(tài)電流信息計算出磁懸浮分子泵安裝角α和徑向磁軸承重力因子;將分子泵安裝角α、徑向磁軸承重力因子、轉(zhuǎn)子位移偏差和轉(zhuǎn)子位移偏差變化率模糊化,查詢模糊控制規(guī)則經(jīng)過模糊推理,并經(jīng)過去模糊化后輸出控制徑向磁軸承偏置電流信息,控制軸向磁軸承偏置電流信息和控制PID參數(shù)信息,完成控制參數(shù)整定,從而保證其在任意位置安裝均能穩(wěn)定工作。本發(fā)明還介紹了一種采用該模糊控制方法的模糊控制系統(tǒng)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人清華大學(xué);北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人張剴;張小章;李奇志;鄒蒙;武涵;
- 地址100084 北京市海淀區(qū)清華園1號
- 申請?zhí)?/b>CN201010619897.8
- 申請時間2010年12月31日
- 申請公布號CN102072184B
- 申請公布時間2013年06月05日
- 分類號F04D27/00(2006.01)I;




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