摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種電感耦合等離子體電源輸出匹配電路，其包括一變壓器，所述變壓器的初級(jí)線圈與輸入信號(hào)連接，所述變壓器的次級(jí)線圈與第一可調(diào)節(jié)電容、第二可調(diào)節(jié)電容連接，第一可調(diào)節(jié)電容的另一端與工作線圈連接，第二可調(diào)節(jié)電容的另一端接地，所述第一可調(diào)節(jié)電容由第一電機(jī)調(diào)節(jié)，第二可調(diào)節(jié)電容由第二電機(jī)調(diào)節(jié)，所述第一電機(jī)、第二電機(jī)與一可檢測(cè)工作線圈傳輸效率的信號(hào)反饋單元連接。該電路可根據(jù)工作線圈的工作情況自動(dòng)調(diào)節(jié)輸出匹配，使輸出功率能以最大的效率傳輸至輸出負(fù)載工作線圈上。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人應(yīng)剛;張樹(shù)龍;沈鵬飛;
- 地址215300 江蘇省昆山市葦城南路1666號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN200910232136.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2009年12月02日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN101718700A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2010年06月02日
- 分類號(hào)G01N21/73(2006.01)I;
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