摘要：本發(fā)明一種電感耦合等離子體光源的供氣系統(tǒng)，包括氣源、等離子氣供氣支路、輔助氣供氣支路和載氣供氣支路，所述氣源分別通過一質(zhì)量流量控制器與所述離子氣供氣支路、輔助氣供氣支路、載氣供氣支路連接。在該方案中氣源與供氣支路之間通過質(zhì)量流量控制器連接，質(zhì)量流量控制器能夠接收來自于主控制器的模擬電壓信號，并根據(jù)該電壓的大小對輸出的流量進(jìn)行控制，從而大大的提高了工作氣體流量的調(diào)節(jié)與控制的精度以及自動化程度。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人劉召貴;張樹龍;夏義峰;
- 地址215300 江蘇省昆山市葦城南路1666號
- 申請?zhí)?/b>CN200910232131.1
- 申請時(shí)間2009年12月02日
- 申請公布號CN101718699B
- 申請公布時(shí)間2012年06月13日
- 分類號G01N21/73(2006.01)I;
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