摘要：本發(fā)明公開了一種光學(xué)相位延遲精密測量方法及其系統(tǒng)，本發(fā)明的系統(tǒng)包括激光器、起偏器、光調(diào)制器、調(diào)制信號源、待測相位延遲器、相位補(bǔ)償器、檢偏器、光探測器、結(jié)果輸出單元，本發(fā)明的方法通過在光路中加入光調(diào)制器對檢測偏振光進(jìn)行光調(diào)制，產(chǎn)生調(diào)制偏振光，結(jié)果顯示單元對接收信號濾波處理后實(shí)現(xiàn)將直流零點(diǎn)的測量轉(zhuǎn)換交流零點(diǎn)的測量，從而準(zhǔn)確判斷極值點(diǎn)位置，提高了測量精度。本發(fā)明測量簡單方便，結(jié)果準(zhǔn)確可靠，精度可達(dá)到λ/300，適用于波片等光學(xué)延遲器件的生產(chǎn)和銷售部門對產(chǎn)品的檢驗(yàn)。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人大恒新紀(jì)元科技股份有限公司北京光電技術(shù)研究所;
- 發(fā)明人宋菲君;范玲;俞蕾;韓永剛;林海晏;宋建力;姚思一;
- 地址100085北京市海淀區(qū)上地信息路甲9號3號樓2層
- 申請?zhí)?/b>CN200710178950.3
- 申請時(shí)間2007年12月07日
- 申請公布號CN101183043A
- 申請公布時(shí)間2008年05月21日
- 分類號G01M11/02(2006.01);
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