摘要：本發(fā)明涉及高熔點金屬(難熔金屬及貴金屬)化學(xué)氣相沉積制備所用的專用設(shè)備。設(shè)備由3部分組成：(一)主體結(jié)構(gòu)；(二)動力傳動裝置；(三)氣體調(diào)配系統(tǒng)。主體部分結(jié)構(gòu)由5個功能部件組成，分別為：沉積室(I)，密封室(II)，蝸輪箱(III)，升降操縱箱(IV)，熱電勢信號接轉(zhuǎn)裝置(V)。本發(fā)明在于實現(xiàn)基體沉積件在高溫、高真空或多種氣氛(氬氣、氧氣、氯氣、一氧化碳以及甲烷等)條件下，按設(shè)定參數(shù)進(jìn)行材料的沉積，基體可進(jìn)行軸向圓周、螺旋以及自動循環(huán)運動。輸入溫度、氣氛壓力和流量均可精確控制。所制備的難熔金屬和貴金屬材料的致密性達(dá)到或接近理論密度，硬度(耐磨性)超過熔鑄和粉末冶金法生產(chǎn)的同類材料。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人貴研鉑業(yè)股份有限公司;
- 發(fā)明人胡昌義;雷春明;毛勇;郭錦新;李靖華;周世平;徐云;王云;歐陽遠(yuǎn)良;
- 地址650221云南省昆明市二環(huán)北路核桃箐
- 申請?zhí)?/b>CN200510010838.X
- 申請時間2005年06月06日
- 申請公布號CN100439563C
- 申請公布時間2008年12月03日
- 分類號C23C16/44(2006.01);C23C16/455(2006.01);C23C16/46(2006.01);C23C16/458(2006.01);
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