中圖儀器SJ6000高精度機(jī)床激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
SJ6000高精度機(jī)床激光干涉儀適用于各種復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，不僅僅局限于運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，還可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能，減少維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。
產(chǎn)品功能
?。?）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；
（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
?。?）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；
?。?）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
?。?）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
?。?）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
