Zygo NewView9000 3D 光學輪廓儀提供了強大的非接觸式光學表面分析的多功能性。它可以容易和快速地測量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、無需樣品制備的。
系統(tǒng)的核心是ZYGO 相干掃描干涉技術(CSI)，提供了所有放大倍數(shù)下亞納米的精度，并且能夠快速測試各種樣品表面。
主要特點:
?高靈敏度 1.9 MP 傳感器
?快速非接觸式測量
?卓越的3D 表面可視化
亞埃級精度
?超精密&計量能力
?增強光學成像
?自動零件定位
性能，價值和多樣性
靈活性是ZYGO NewView 產品的標志。NewView 9000 光學輪廓儀提供了多樣化的應用，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜，臺階高度和其他。
所有NewView 9000 輪廓儀都配備一個3 種變焦塔臺，包含量身定做的分立變焦光學系統(tǒng)。樣品臺配置是完全手動到編碼的完全自動化選擇。
所有NewView 9000 輪廓儀系統(tǒng)都提供高精度測量，易于使用和快速測量，價格吸引人， 在通用性和應用價值方面使其成為 3D 光學輪廓儀的理想選擇。
以下差異化特性實現(xiàn)用戶計量更好、更快和更可靠:
? 大面積1.9MP傳感器：高靈敏度，在單次測量中獲取更多的信息
? 高速測量：只需幾秒時間，優(yōu)化的測試能力和程序控制
? 自動零件聚焦和定位：縮短用戶培訓時間，更快獲取數(shù)據(jù)結果
? 重復性特征：優(yōu)異的測量精度和可重復性，為高要求的生產應用提供服務
? 抗震測量：SureScan抗震技術和內置抗震技術使得在震動環(huán)境下也可實現(xiàn)高質量的計量
? SmartPSI技術：對超光滑表面進行快速分析測量
? 2D和3D的相關性：測量結果符合ISO25178和ISO4287標準。
? Mx軟件：實現(xiàn)儀器控制、分析和測量自動化
先進的分析&控制軟件
NewView 9000 輪廓儀使用ZYGO Mx軟件，支持完整系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析，包括豐富的交互式3D 繪圖，量化的形貌信息，直觀的測量導航以及內置的SPC 統(tǒng)計，質量控制圖，通過/失敗限制設置。
?交互式 3D 繪圖-縮放，平移，旋轉，并實時更新結果。
?靈活分析——廣泛的定量分析結果，包括數(shù)據(jù)視圖和過濾器。
?直觀的用戶界面，易于學習和使用的流程界面設計。
內置SPC分析工具，跟蹤結果，監(jiān)控合格和不合格的標準，跟蹤處理數(shù)據(jù)。
還有滿足額外特殊應用需求的應用程序模塊，如有透明薄膜的樣品測量，2D 圖像分析等。
靈活的配置
NewView 9000 輪廓儀的工作區(qū)域功能開放，界面條理清晰，使測量設置和改變簡單&快速。系統(tǒng)可以配備多種樣品平臺，從完全手動 X/Y 和傾斜俯仰到 150 毫米完全自動化調整和 4 度傾斜。儀器的抗震隔離系統(tǒng)和緊湊的尺寸，使它非常適合于臺式安裝，使用可選的工作臺使其成為生產線理想的選擇。
