KLA探針式表面輪廓儀
簡介：
KLA是全球半導(dǎo)體在線檢測設(shè)備市場的供應(yīng)商，在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲、MEMS、 太陽能、光電子以及其他領(lǐng)域中有著極高的市占率。Alpha-Step" 探針式輪廓儀支持合階高度和粗度的2D及3D(D-600)輪廓掃描，以及翹曲度和應(yīng)力的2D測量。創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。
優(yōu)勢：
探針測量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量，與材料特性無關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力，可以對工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
-500/D-600提供1200 m垂直量測距離，亞埃分辨率以及.03- 15毫克的針壓控制范用。具有廣泛的應(yīng)用范圍，包括從納米級到毫米級的臺階高度，高分辨率的粗糙度，軟材料和薄膜應(yīng)力等，使其能夠服務(wù)于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中的各個(gè)行業(yè)。
D-500配有140毫米的手動載臺。D-600配有200毫米的自動載臺,有手動deskew對齊和多達(dá)1000個(gè)量測位置的可編寫序列軟件功能。
臺階高度重復(fù)性
亞埃分辨率及光學(xué)杠桿傳感器具有低重量低噪聲的特點(diǎn)。在1微米臺階的高度重復(fù)性為5埃。
舉例:
用戶界面控件可以自動聚焦在樣品表面單獨(dú)控制光強(qiáng)和相機(jī)的亮度、對比度以及高達(dá)4倍的數(shù)字變焦。
數(shù)據(jù)采集設(shè)置和系統(tǒng)硬件控制顯示在同-界面，以快速進(jìn)行樣品定位和測量直接保存原始數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)分析無需重新測量
探針掃描:D-500:140mm的掃描載臺支持長達(dá)30 mm的單次量測和80mm的拼接功能。D-600:200mm的掃描載臺支持長達(dá)55 mm的單次量測和200mm的拼接功能。D-500/D-600垂直測量范圍是1200 um，針壓可低至0.03 mg，可以精確量測包括薄膜、軟性材料、高臺階、彎曲度和應(yīng)力等多種材料及應(yīng)用。
超高清鏡頭:D-500/D-600配備先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)，包括一個(gè)高分辨率5MP彩色相機(jī)4倍數(shù)碼變焦和增強(qiáng)的照明控制。
梯形校正:側(cè)視鏡頭下的樣品畫面會出現(xiàn)一定程度的扭曲。全新梯形校正功能，可以自動去除扭曲效應(yīng)。
圓修正:圓弧修正功能可自動修正探針在測量過程中的圓弧運(yùn)動，極大提高了側(cè)壁傾角和臺階寬度量測的精確度。
3D掃描(D-600)和2D應(yīng)力(D-500/600選配):三維掃描詳細(xì)地展現(xiàn)樣品表面的臺階高度，紋理，和樣品的形貌。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力.
