加載中
賽德凱斯
SC-SU-I
北京賽德凱斯電子有限責(zé)任公司
清華大學(xué),北京大學(xué),中科院化學(xué)所,浙江大學(xué),重慶大學(xué),華中科技大學(xué),武漢大學(xué),南京大學(xué),北京理工大學(xué),復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),哈爾濱工業(yè)大學(xué),西安交通大學(xué),電子科技大學(xué),四川大學(xué),蘭州大學(xué),國防科技大學(xué)
詳細說明
1-2022-SC-SU-I型磁控濺射儀---設(shè)備彩頁.doc
SC-SU-I型磁控濺射儀 |
參數(shù) | 指標(biāo) |
石英倉尺寸 | 150X120MM |
樣品臺尺寸 | 70mm |
濺射面積 | 50mm |
真空度 | 5pa |
可通氣體 | 氬氣，氮氣等惰性氣體 |
濺射速度 | 8nm/min |
整機功率 | 200W |
機器尺寸 | 360(W)X310(D)X150mm(H) |
