飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)-Laser Nanofactory
Femtika公司設(shè)計并生產(chǎn)的飛秒激光微納加工綜合系統(tǒng)-Laser Nanofactory是一款集增材與減材制造于一體的綜合微納加工系統(tǒng)。與傳統(tǒng)的微納3D打印設(shè)備相比，Laser Nanofactory不僅可用于光子學(xué)聚合物微納結(jié)構(gòu)的加工，還可以用于石英，陶瓷，玻璃和金屬等材料從毫米到微米尺度的精確加工。設(shè)備加工速度可高達(dá)50mm/s，加工精度優(yōu)于100nm，還可實(shí)現(xiàn)不同加工工藝間的無縫切換。得益于Femtika先進(jìn)的飛秒激光技術(shù)，Laser Nanofactory在進(jìn)行微納加工時所產(chǎn)生的熱效應(yīng)小，加工出的結(jié)構(gòu)邊緣銳利，因此特別適合微納結(jié)構(gòu)的加工。
應(yīng)用領(lǐng)域
? 微納光學(xué)
? 微流控
? 微納機(jī)電器件（M/NEMS）
? 納米技術(shù)
? 生物醫(yī)藥
? 通訊技術(shù)
? 傳感器件
? 材料表面改性
......
Laser Nanofactory技術(shù)參數(shù)
飛秒激光 | 波長 | 1028 nm ± 5 nm和514 nm ± 5 nm |
脈沖持續(xù)時間 | <290 fs - 10 ps | |
脈沖能量 | >65 μJ | |
極限平均功率 | >4 W | |
重復(fù)率 | 60 - 1000 kHz | |
冷卻方式 | 氣冷 | |
定位平臺 | XY方向移動范圍 | 160 mm x 160 mm |
Z方向移動范圍 | 60mm | |
XYZ正交性 | 3 arc sec | |
分辨率 | 1 nm (XY), 2 nm (Z) | |
極限速度 | 350 mm/s (YX), 200 mm/s (Z) |
Laser Nanofactory制備的多光子聚合物3D結(jié)構(gòu)
Laser Nanofactory選擇性刻蝕結(jié)果展示
Laser Nanofactory在樣品上進(jìn)行激光燒蝕
Laser Nanofactory對器件中的不同材料采用不同加工技術(shù)（無縫切換）
用戶單位
