產(chǎn)品特點(diǎn)：
小型PVD腔室，專門用于鈣鈦礦蒸鍍
可集成于MBRAUN 手套箱(由過渡艙實(shí)現(xiàn)連接)
緊湊型設(shè)計(jì)
可用于50x50 mm大小的基板
可實(shí)現(xiàn)多源共蒸(4個(gè)蒸發(fā)源)
膜厚一致性標(biāo)準(zhǔn)偏差在+/-5%區(qū)間
經(jīng)濟(jì)型方案
交貨快
有利于工藝改進(jìn)和提升
應(yīng)用行業(yè)：
鈣鈦礦太陽能電池
