產(chǎn)品特點：
集成手套箱
緊湊型設(shè)計
經(jīng)濟型解決方案
配置簡單
多源共蒸
一致性標準偏差在+/-3 %區(qū)間 (幾何式設(shè)計可縮小至+/-1 %)
兩種型號可選: PROvap 4G 和 PROvap 5G
多可實現(xiàn)8源共蒸
PROvap 4G可用于大小100x100 mm或直徑100 mm (4英寸)的基板
PROvap 5G可用于大小150x150 mm 或直徑150 mm (6英寸)的基板
應(yīng)用行業(yè)：
OLEDs/有機光電子
光伏太陽能
電池行業(yè)
