豐富的可選配置以適應(yīng)客戶的需求:
涂布頭定位傳感器
高清攝像頭用于監(jiān)控涂布過程
多種固化功能(紅外、紫外、熱風(fēng)、氮?dú)怙L(fēng)刀)
A4 及更大面積的真空吸盤
涂布頭的常規(guī)材料為不銹鋼??蛇x其他材料和合金(玻璃、鎢、鈦)。
金屬涂布頭表面可進(jìn)行Tantaline耐腐蝕涂層處理
涂布頭溫度在0-80℃內(nèi)可控
注射泵溫度可控
可與多種涂布方式聯(lián)用:如噴墨、微型凹版印刷、刮刀涂布等。
設(shè)計(jì)
直觀便捷的操作界面使得用戶得以自由的設(shè)計(jì)涂布工藝配方。涂布橋架經(jīng)優(yōu)化設(shè)計(jì),以實(shí)現(xiàn)精確安裝和涂布頭的快速定位;經(jīng)減震的真空樣品臺則為基片提供一個(gè)平整的剛性支撐;樣品臺在精密軌道上以設(shè)定速度移動,從而實(shí)現(xiàn)功能材料的精密涂布。綜合諸多細(xì)節(jié)全盤考慮和不斷優(yōu)化才可能成功建立起一個(gè)穩(wěn)定可靠的多功能研發(fā)平臺。各涂布元件的有機(jī)整合保證了多個(gè)涂布批次間的高可重復(fù)性,器件性能的高可比性 ,以及產(chǎn)品質(zhì)量的高穩(wěn)定性。
機(jī)械素質(zhì)
該系統(tǒng)可選擇手動或自動定位涂布,以及手動或電機(jī)控制的自動高度和側(cè)移調(diào)整,分辨率為1μm。涂布速度在0.05到5.0m/min之間(無極調(diào)整)。平行度設(shè)置和涂布頭平直度<1%,保證材料涂布時(shí)的精確度。交叉定位精度<100μm。涂布頭多次拆裝維護(hù)后依然可保證高度(涂布頭與基材間隙)可重復(fù)性,從而保障批次可重復(fù)性。Metapor (TM) 真空吸盤面積為大于A4尺寸;平整度優(yōu)于20μm;加熱溫度可達(dá)150℃,全表面溫度均勻性可達(dá)<1℃。
易于實(shí)驗(yàn)重復(fù)和配方調(diào)用
該系統(tǒng)使用戶可以以高度可控,可預(yù)測的方式進(jìn)行高精度功能薄膜的重復(fù)涂布,幫助研究人員深入理解精密涂布過程中的各種變量。