快速退火爐RTP-3-04系列采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品（4英寸樣品）快速升溫和降溫，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到溫場均勻，對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)工作起到重要作用。
產(chǎn)品特點(diǎn)
可測大尺寸樣品：可測單晶片樣品的尺寸為4英寸。
可遠(yuǎn)程操作：提供遠(yuǎn)程監(jiān)控模塊。
壓力控制系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計(jì)：高精度控制壓力，以滿足不同的工藝要求。
存儲熱處理工藝：方便工藝參數(shù)調(diào)取，提高實(shí)驗(yàn)效率，數(shù)據(jù)可查詢。
快速控溫與高真空：升溫速率可達(dá)150℃/s，真空度可達(dá)到10-3Pa。
程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展：可實(shí)現(xiàn)不同溫度段的精確控制，進(jìn)行降溫段的自動轉(zhuǎn)接，并能夠?qū)に嚥藛芜M(jìn)行保存，方便調(diào)用。采用MFC精確控制氣體流量，實(shí)現(xiàn)不同氣氛環(huán)境（真空、氮?dú)獾龋┫碌臒崽幚怼?/p>
獨(dú)特的腔體空間設(shè)計(jì)：保證大尺寸樣品的溫場均勻性 ≤1.5%。
全自動智能控制：采用全自動智能控制，包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動控制。
超高安全系數(shù)：采用爐門安全溫度開啟保護(hù)、溫控器開啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施，保障設(shè)備使用安全
