儀器簡介：
勻膠機(jī)（spin coater）有許多名稱：甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃，鈣鈦礦（OPV）太陽能電池, FPD（OLED,LCD,Micro LED)......可在企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
主要規(guī)格參數(shù)：
- 樣品尺寸： ~ 6"（4",8",10",12" ,16"，200*200mm,370*470mm....更多尺寸可定制）
- 旋轉(zhuǎn)速度 : 100~8,000rpm
- 速度精度 : < ±0.1%(8,000rpm)
- 速度遞增：1rpm
- 存儲（recipes）: 1 file
- 甩涂步進(jìn)（max）: 2 step (1file)
- 加速度：1~999sec
- Last-Deceleration： *自然減速 方式
- 顯示：數(shù)字LED
- 運(yùn)行時間：1~999sec
- Drain（tubing-type）:Yes
- 自旋真空外殼系統(tǒng)：Yes
- 防震系統(tǒng)：Yes
- 真空泵：無油泵
- 重量：35Kg
- 尺寸：283*400*470mm
- 其他事項跟根據(jù)客戶需求進(jìn)行協(xié)商定制.
-(Option)
1.壓力傳感器&顯示
2. 蓋傳感器-孔和蓋子系統(tǒng)
