
儀器簡(jiǎn)介:
SR2000N 是一款量測(cè)面電阻、電阻率的全自動(dòng)款測(cè)試系統(tǒng)。本系統(tǒng)可D立運(yùn)行,并可通過 PC 和Z用軟件進(jìn)行完善的遠(yuǎn)程控制,提供多種數(shù)據(jù)分析功能。
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽能電池,LCD,OLED,觸摸屏......
技術(shù)參數(shù):
- Z大可測(cè)樣品尺寸:Φ200mm 或 140×140mm
面電阻測(cè)量:1mΩ/sq ~ 2MΩ/sq
- 測(cè)量模式 : 接觸式 4-探針
電阻率測(cè)量:10.0 μΩ·cm ~ 200.0 KΩ·cm
- 測(cè)量模式 : 接觸式 4-探針 (需輸入厚度)
軟件系統(tǒng):
- Recipe 測(cè)試:根據(jù)使用者設(shè)定的 Recipe 直接測(cè)試
- 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試:ASTM、SEMI
- Pattern 測(cè)試:49,81,121,225 點(diǎn)等
- 數(shù)據(jù)分析:2D、3D、數(shù)據(jù)圖譜、統(tǒng)計(jì)等
- 數(shù)據(jù) & mapping 可打印
主要特點(diǎn):
- X,R,Z軸全自動(dòng)控制系統(tǒng)
- 自動(dòng)& 手動(dòng)范圍可選
- 通過PC進(jìn)行控制
- 樣品臺(tái)尺寸大小可訂制
