儀器簡(jiǎn)介:
勻膠機(jī)(spin coater)有許多名稱:甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃,鈣鈦礦(OPV)太陽(yáng)能電池, FPD(OLED,LCD,Micro LED)......可在企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
主要規(guī)格參數(shù):
- 樣品尺寸: ~ 12"(4",8",10" ,16",200*200mm,370*470mm....更多尺寸可定制)
- 旋轉(zhuǎn)速度 : 30~5,000rpm
- 速度精度 : <±0.5rpm
- 速度遞增:0.1rpm
- 存儲(chǔ)(recipes):1,000 files
- 甩涂步進(jìn)(max):100 step (1file)
- 加速度:3.0~3,000.0sec
- 減速度:3.0~3,000.0sec
- Last-Deceleration: 可選擇 *自然減速 或 * 時(shí)間減速方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)
- 顯示:7"彩色觸控屏
- 運(yùn)行時(shí)間:1.0~3,000sec
- Drain(tubing-type):Yes
- 自旋真空外殼系統(tǒng):Yes
- 防震系統(tǒng):Yes
- 壓力傳感器&顯示:Yes
- 蓋傳感器-孔和蓋子系統(tǒng):Yes
- 真空調(diào)節(jié)閥:Yes
- 真空泵:無(wú)油泵
- 重量:120Kg
- 尺寸:1,080*770*770mm
- 其他事項(xiàng)跟根據(jù)客戶需求進(jìn)行協(xié)商定制.
