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大宗供氣系統(tǒng)系統(tǒng)概述：
大宗氣體系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)和輸送管道系統(tǒng)組成，其中供氣系統(tǒng)又可細(xì)分為氣源、純化和品質(zhì)監(jiān)測(cè)等幾個(gè)部分。通常在設(shè)計(jì)中將氣源設(shè)置在獨(dú)立于生產(chǎn)廠房(FAB)之外的氣體站(GasYard)。主要適用于:Semiconductor、TFT、Sun Solar等工廠特氣的集中供氣。
供氣方式
1)液氮儲(chǔ)罐，用槽車定期進(jìn)行充灌，高壓的液態(tài)氣體經(jīng)蒸發(fā)器(Vaporizer)蒸發(fā)為氣態(tài)后，供工廠使用。一般的半導(dǎo)體工廠用氣量適中時(shí)這種方式較為合適，這也是目前采用多的一種方式。
2)采用空分裝置現(xiàn)場(chǎng)制氮。這適用于N2用量很大的場(chǎng)合。集成電路芯片制造廠多采用此方式供氣，而且還同時(shí)設(shè)置液氮儲(chǔ)罐作備用。
圖片為瑞聲（常州）精密科技有限公司-新能源廠區(qū)
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