晶硅太陽能電池表面鈍化用高產(chǎn)出原子層沉積系統(tǒng)
ALD for surface passivation of c-Si solar cells
應用：
1.CIGS太陽能電池無鎘緩沖層沉積
2.晶硅太陽能電池表面鈍化層沉積
3.大規(guī)模生產(chǎn)的應用
4.工業(yè)全自動生產(chǎn)設備
5.高產(chǎn)量：高達4500晶片/小時(156 X 156 m㎡)
特征：
1.良好的厚度＆均勻性好的Al2O3薄膜
2.用于短氣體循環(huán)時間的先進工藝套件和小體積
3.具體化的ALD機械裝置
4.全集成工藝模塊
5.操作過程簡單
6.自動式操作
