產(chǎn)品介紹：

名稱：高精密勻膠機(jī)

型號：EZ6

原產(chǎn)地：

應(yīng) 用：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

產(chǎn)品概述：

EasyCoater 6勻膠機(jī)被設(shè)計為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達(dá)和PLC控制，5寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，簡單易用。EZ6勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。EZ6勻膠機(jī)設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級自動點(diǎn)膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計，進(jìn)行嵌入式安裝，與手套箱進(jìn)行配合。

性能參數(shù)：

l支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）

l速度可調(diào)范圍：100-10000rpm

l加速度可調(diào)范圍：100-30000rpm/s

l轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

l轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm

l可編程10組10步程序

l寬電壓輸入：AC100-230V

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l100W 直流無刷電機(jī)，PLC 控制

l5”全彩觸摸屏

l系統(tǒng)中英文可選

l帶一只自動點(diǎn)膠端口，可升級自動點(diǎn)膠功能

lHDPE 內(nèi)腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋

l真空互鎖及蓋子開關(guān)互鎖安全功能

產(chǎn)品外型尺寸：

358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

咨詢或索取詳細(xì)產(chǎn)品資料，請聯(lián)系A(chǔ)NALYSIS（安賽斯）工作人員。

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