皮米精度位移激光干涉器 - attoFPSensor
attocube公司生產(chǎn)的attoFPSenor系列位移激光干涉器充分滿足了高分辨位移與定位的工業(yè)和科研需要，其緊湊的設(shè)計(jì)和穩(wěn)定性可以在端環(huán)境中使用，在大的位移測(cè)量范圍內(nèi)，達(dá)到25pm的位移分辨率和10MHz的采樣速率，應(yīng)用范圍遍及閉環(huán)掃描器校準(zhǔn)、樣品或模塊位移、加工業(yè)、引擎位移探測(cè)等領(lǐng)域。
| + 簡(jiǎn)單易用，attoFPSensor自動(dòng)軟件控制與校準(zhǔn) + 測(cè)量速度快，attoFPSensor定位樣品采樣帶寬10MHz，分辨率25pm + 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集界面，attoFPSensor利用Ethernet或HSSL實(shí)現(xiàn)定位數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)輸出 + 多軸同時(shí)測(cè)量，attoFPSensor配有立的三軸定位器，允許同時(shí)位移測(cè)量、數(shù)據(jù)處理、和定位輸出 + 度高，attoFPSensor鎖定分子吸附頻率做參考值，得到的定位信息具有測(cè)量學(xué)意義 + 上小體積的位移測(cè)量干涉器，15mm直徑和12mm長(zhǎng) |
| 長(zhǎng)時(shí)間使用仍可保持picometer穩(wěn)定度和精度 | 探測(cè)目標(biāo)振動(dòng)簡(jiǎn)單可靠 |
attoFPSensor具有高的信號(hào)穩(wěn)定性，如上圖時(shí)間與位移變化的關(guān)系所示： 在20mm工作距離下，其2δ為0.286nm 在70mm工作距離下，其2δ為0.530nm； 在120mm工作距離下，其2δ為1.035nm |
attoFPSensor不僅是功能強(qiáng)大的實(shí)時(shí)位移探測(cè)設(shè)備，而且它還是一個(gè)振動(dòng)器。上圖是測(cè)量attocube位移器ANPxyz得到的結(jié)果。 |
| attoFPSensor技術(shù)特點(diǎn) | attoFPSensor特優(yōu)勢(shì) |
+ 多維度位移干涉器 + 完備的系統(tǒng)配置 + 實(shí)時(shí)數(shù)字化界面 + 高速FPGA控制單元 + 10MHz采樣速率 + 大1m/s樣品位移速率，可選配更快速率 + 基于單模光纖的探測(cè)器 + 兼容真空與端環(huán)境 | + 高帶寬位移探測(cè) + 閉環(huán)位移控制 + MHz范圍內(nèi)的振動(dòng)測(cè)量 + 目標(biāo)樣品熱負(fù)載<75uW + 探測(cè)器無(wú)需進(jìn)行電子器件鏈接 + 工業(yè)化設(shè)計(jì) + 其可靠與穩(wěn)定 |
激光探頭技術(shù)參數(shù)表
FPS系列激光干涉儀可提供不同型號(hào)探頭（探頭尺寸，光斑大小不同）。
探頭直徑范圍：1.2mm – 22mm。典型準(zhǔn)直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。
低工作溫度：10mK, 1E-10mBar超高真空適用, 10MGy強(qiáng)輻射環(huán)境適用。
| 激光探頭 | 型號(hào) | 尺寸mm (直徑與長(zhǎng)) | 工作距離 (低反射，高反射材料） | 激光類型 （聚焦、準(zhǔn)直） | 光斑大小 |
D1.2/F7 | ? 1.2; 7.5 | 5-9 mm 30-45 mm | 聚焦， 焦距7mm | 70μm@7mm | |
| D4/F8 | ? 4; 11.5 | 6-10 mm 15-30 mm | 聚焦， 焦距8mm | 70μm@8mm | |
| D4/F13 | ? 4; 11.5 | 11-15 mm 30-45 mm | 聚焦， 焦距13mm | 70μm@13mm | |
| D12/F2.8 | ? 12; 32.3 | 2.8 mm | 聚焦， 焦距2.8mm | 2μm@2.8mm | |
| M12/C1.6 | ? 14; 17.4 | 0-1000 mm | 準(zhǔn)直 | 1.6mm | |
| M15.5/C1.6 | ? 22; 20.6 | 0-1000 mm | 準(zhǔn)直 | 1.6mm | |
| M12/C7.6 | ? 14; 49.3 | 0-5000 mm | 準(zhǔn)直 | 7.6mm |
