EPIC/3F 三級(jí)過(guò)濾四極質(zhì)譜(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)用于高精密科學(xué)分析、過(guò)程研究，以及中性粒子、自由基、離子的UHV 分析。

應(yīng)用：

    · 中性粒子、自由基，正、負(fù)離子分析
    · 電子附著研究
    · 表面科學(xué)，分子束研究
    · 超高真空程序升溫脫附（UHV－TPD）  
    · 高性能殘余氣體分析
    · 脫附、除氣作用研究
    · 容器、過(guò)程氣體污染物分析

特點(diǎn)：

    · 靈敏度高，檢測(cè)范圍從 至 5ppb.
    · 質(zhì)量數(shù)至 2500 amu, 6、9、12 mm 直徑的四極桿可選.
    · 加強(qiáng)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性(24h以上，峰高變化小于±0.5% )
    · 通過(guò) ±100 V（1000 eV 可選）中軸電勢(shì)掃描可知離子能量分布
    · 離子源控制，以實(shí)現(xiàn)軟離子化及表觀電勢(shì)質(zhì)譜
    · 靈敏度增強(qiáng)利于質(zhì)量數(shù)較大的離子的傳輸；自動(dòng)質(zhì)量數(shù)范圍列表
    · 脈沖離子計(jì)數(shù)器，連續(xù)7個(gè)數(shù)量級(jí)動(dòng)態(tài)范圍，F(xiàn)araday 選項(xiàng)為5x10¹⁰
    · 一級(jí)過(guò)濾處增加射頻，增強(qiáng)抗污染物能力
    · 當(dāng)分析能量（或質(zhì)量）分布變化與時(shí)間的關(guān)系，或進(jìn)行TOF研究時(shí)，
       信號(hào)選通分辨率為 1µs 
    · 操作升溫脫附時(shí)，溫度亦可同步顯示
    · 標(biāo)配 UHV 罩, 液氮冷卻罩可選
    · 軟件 MASsoft 控制.
    · 可升級(jí)至等離子體 / SIMS 配置