殘余氣體分析儀
Residual Gas Analysers
儀器介紹
Hiden RGA 系列殘余氣體分析四極質(zhì)譜儀(Residual Gas Analysers)，檢測容器中的存在組分，或進(jìn)行過程中產(chǎn)生氣體的分析。針對真空診斷的精確分析。
· 殘余氣體或泄漏檢測
· 實(shí)際泄漏或脫附分析
· 除氣研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/過程氣體污染物
主要特點(diǎn)
· 靈敏度PPM,質(zhì)量數(shù)至300amu
· 穩(wěn)定性（24小時(shí)以上，峰高變化小于±0.5%）
· MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個(gè)系統(tǒng)控制
· 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
· 混合模式掃描－多個(gè)windows窗口顯示信息，例如趨勢、柱狀圖和信號峰
· 同步顯示數(shù)據(jù)圖，列表
· 同步背景扣除，自動(dòng)質(zhì)量數(shù)列表
· 數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows設(shè)備
· 即時(shí)動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如
· Excel、SPC-IV統(tǒng)計(jì)過程控制軟件等
