摘要：本實用新型公開了一種基于自動跟蹤的自由曲面光學(xué)元件形貌測量系統(tǒng)，包括運動模塊、位置伺服模塊和雙頻激光干涉儀；所述運動模塊包括轉(zhuǎn)臺、導(dǎo)軌、音圈電機、滑塊和機架；所述位置伺服模塊包括彩色共焦位移傳感器、信號調(diào)理器、自動跟蹤控制器、音圈電機驅(qū)動器、光柵尺和光柵尺讀數(shù)頭；所述雙頻激光干涉儀包括激光器、平面干涉鏡組和可移動反光鏡；本實用新型采用探頭自動跟蹤的測量方式來擬合被測光學(xué)元件的形貌，能有效解決現(xiàn)有測量方法中探頭不動帶來的無法測量PV值較大的問題。同時采用彩色共焦測量原理，能使測量精度和分辨率都達到納米級，測量量程達到10mm，彌補了現(xiàn)有探頭對被測光學(xué)元件有可能造成損傷、精度不高和量程有限的問題。
- 專利類型實用新型
- 申請人浙江大學(xué);
- 發(fā)明人居冰峰;杜慧林;曾培陽;孫安玉;孫澤青;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號
- 申請?zhí)?/b>CN201620162659.1
- 申請時間2016年03月03日
- 申請公布號CN205655804U
- 申請公布時間2016年10月19日
- 分類號G01B11/24(2006.01)I;
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