摘要：本發(fā)明公開了一種非球面非零位干涉檢測中部分補償透鏡方法。它由激光器出射的細光束經(jīng)準直擴束系統(tǒng)后被擴束為平行寬光束，平行光入射至鍍有半反半透膜的分光板后，一部分入射光被反射，反射光束被平面參考鏡反射后再次返回分光板；另一部分入射光被透射，透射光束向前傳播入射至輔助對準平板后返回；返回的反射光和返回的透射光在分光板處相遇發(fā)生干涉，形成干涉圖，經(jīng)成像系統(tǒng)后成像于探測器處；調(diào)節(jié)對準平板與部分補償透鏡相對于入射光的傾斜度，使探測器得到零條紋干涉圖，移去對準平板，實現(xiàn)部分補償透鏡的傾斜對準。本發(fā)明解決了非球面非零位干涉檢測中部分補償透鏡對準誤差問題，減少了其誤對準對檢測結(jié)果引入的調(diào)整誤差。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人浙江大學;
- 發(fā)明人楊甬英;田超;張磊;韋濤;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號
- 申請?zhí)?/b>CN201410010751.1
- 申請時間2012年03月02日
- 申請公布號CN103776388B
- 申請公布時間2016年06月01日
- 分類號G01B11/24(2006.01)I;
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