摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種非球面非零位干涉檢測(cè)中部分補(bǔ)償透鏡方法。它由激光器出射的細(xì)光束經(jīng)準(zhǔn)直擴(kuò)束系統(tǒng)后被擴(kuò)束為平行寬光束，平行光入射至鍍有半反半透膜的分光板后，一部分入射光被反射，反射光束被平面參考鏡反射后再次返回分光板；另一部分入射光被透射，透射光束向前傳播入射至輔助對(duì)準(zhǔn)平板后返回；返回的反射光和返回的透射光在分光板處相遇發(fā)生干涉，形成干涉圖，經(jīng)成像系統(tǒng)后成像于探測(cè)器處；調(diào)節(jié)對(duì)準(zhǔn)平板與部分補(bǔ)償透鏡相對(duì)于入射光的傾斜度，使探測(cè)器得到零條紋干涉圖，移去對(duì)準(zhǔn)平板，實(shí)現(xiàn)部分補(bǔ)償透鏡的傾斜對(duì)準(zhǔn)。本發(fā)明解決了非球面非零位干涉檢測(cè)中部分補(bǔ)償透鏡對(duì)準(zhǔn)誤差問(wèn)題，減少了其誤對(duì)準(zhǔn)對(duì)檢測(cè)結(jié)果引入的調(diào)整誤差。
- 專(zhuān)利類(lèi)型發(fā)明專(zhuān)利
- 申請(qǐng)人浙江大學(xué);
- 發(fā)明人楊甬英;田超;張磊;韋濤;
- 地址310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201410010751.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2012年03月02日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103776388B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年06月01日
- 分類(lèi)號(hào)G01B11/24(2006.01)I;
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