摘要：本實(shí)用新型涉及一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述裝置包含有豎向設(shè)置的轉(zhuǎn)軸（5），所述轉(zhuǎn)軸（5）頂部套裝有一水平設(shè)置的載物盤（1），所述轉(zhuǎn)軸（5）上套裝有隔熱盤（4）和導(dǎo)電滑環(huán)（6），所述隔熱盤（4）上安裝有加熱盤（3），所述加熱盤（3）通過導(dǎo)電滑環(huán)（6）與電源相連接，上述隔熱盤（4）位于加熱盤（3）和導(dǎo)電滑環(huán)（6）之間，且加熱盤（3）位于載物盤（1）的下方。本實(shí)用新型涉及一種加熱勻膠的旋涂裝置，能夠在旋轉(zhuǎn)過程中對(duì)膠液進(jìn)行加熱并對(duì)溫度進(jìn)行精確控制。
- 專利類型實(shí)用新型
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201620161944.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年03月03日
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- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年09月14日
- 分類號(hào)B05C13/02(2006.01)I;B05C9/14(2006.01)I;
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