摘要：本發(fā)明涉及一種加熱勻膠的旋涂裝置，所述裝置包含有豎向設(shè)置的轉(zhuǎn)軸（5），所述轉(zhuǎn)軸（5）頂部套裝有一水平設(shè)置的載物盤（1），所述轉(zhuǎn)軸（5）上套裝有隔熱盤（4）和導(dǎo)電滑環(huán)（6），所述隔熱盤（4）上安裝有加熱盤（3），所述加熱盤（3）通過導(dǎo)電滑環(huán)（6）與電源相連接，上述隔熱盤（4）位于加熱盤（3）和導(dǎo)電滑環(huán)（6）之間，且加熱盤（3）位于載物盤（1）的下方。本發(fā)明涉及一種加熱勻膠的旋涂裝置，能夠在旋轉(zhuǎn)過程中對膠液進行加熱并對溫度進行精確控制。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司;
- 發(fā)明人汪竹;陳建鋒;曹喜喜;萬發(fā)能;
- 地址214434 江蘇省無錫市江陰市澄江中路159號Ｃ301
- 申請?zhí)?/b>CN201610120011.2
- 申請時間2016年03月03日
- 申請公布號CN105689209A
- 申請公布時間2016年06月22日
- 分類號B05C13/02(2006.01)I;B05C9/14(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號
