摘要：本實用新型涉及一種電感耦合等離子體發(fā)生器中的RF信號源，包括石英晶體振蕩器、串聯(lián)諧振回路和壓控信號衰減器，串聯(lián)諧振回路連接在石英晶體振蕩器和壓控信號衰減器之間，諧振于石英晶體振蕩器的振蕩頻率，并將信號傳輸給壓控信號衰減器，以保證信號為所需的正弦波形，并通過電容分壓控制傳輸給壓控信號衰減器的信號幅度。該信號源可配合負反饋系統(tǒng)，控制RF線性放大器輸出功率的高低。它的特點是，動態(tài)范圍大、正弦輸出波形失真小，能滿足大功率RF線性放大器對信號源嚴苛的要求。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京東西分析儀器有限公司;
- 發(fā)明人李選培;
- 地址102308 北京市門頭溝區(qū)石龍經(jīng)濟開發(fā)區(qū)上園路3號
- 申請?zhí)?/b>CN201521100171.8
- 申請時間2015年12月24日
- 申請公布號CN205377789U
- 申請公布時間2016年07月06日
- 分類號H03B5/32(2006.01)I;
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