摘要:本實(shí)用新型涉及一種電感耦合等離子體發(fā)生器中的RF信號(hào)源,包括石英晶體振蕩器、串聯(lián)諧振回路和壓控信號(hào)衰減器,串聯(lián)諧振回路連接在石英晶體振蕩器和壓控信號(hào)衰減器之間,諧振于石英晶體振蕩器的振蕩頻率,并將信號(hào)傳輸給壓控信號(hào)衰減器,以保證信號(hào)為所需的正弦波形,并通過(guò)電容分壓控制傳輸給壓控信號(hào)衰減器的信號(hào)幅度。該信號(hào)源可配合負(fù)反饋系統(tǒng),控制RF線性放大器輸出功率的高低。它的特點(diǎn)是,動(dòng)態(tài)范圍大、正弦輸出波形失真小,能滿足大功率RF線性放大器對(duì)信號(hào)源嚴(yán)苛的要求。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人北京東西分析儀器有限公司;
- 發(fā)明人李選培;
- 地址102308 北京市門頭溝區(qū)石龍經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)上園路3號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201521100171.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年12月24日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN205377789U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年07月06日
- 分類號(hào)H03B5/32(2006.01)I;




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