摘要：本實用新型涉及一種氣質(zhì)聯(lián)用儀。本實用新型公開了一種氣質(zhì)聯(lián)用儀載氣控制氣路裝置，其中，質(zhì)量流量計一通過T型三通一與電磁閥二的一端連接，電磁閥二的另一端與汽化室連接，T型三通一還與電磁閥一的一端連接，電磁閥一的另一端與T型三通二連接，T型三通二還與汽化室的載氣入口連接，T型三通二還與壓力傳感器的一端連接，壓力傳感器另一端通過質(zhì)量流量計二與穩(wěn)流閥的出氣口連接，穩(wěn)流閥還連接一個指針式壓力表，針型閥連接在汽化室的吹掃氣出口端用于調(diào)節(jié)吹掃氣的流量，汽化室還與毛細柱連接。本實用新型能實現(xiàn)壓力/流量控制、橫流恒壓模式控制、溫度流速補償，能明顯降低分流狀態(tài)電磁閥切換時的壓力/流量波動和反應時間慢的問題。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京東西分析儀器有限公司;
- 發(fā)明人李選培;
- 地址100078 北京市門頭溝區(qū)石龍經(jīng)濟開發(fā)區(qū)上園路3號
- 申請?zhí)?/b>CN201320303090.2
- 申請時間2013年05月29日
- 申請公布號CN203259512U
- 申請公布時間2013年10月30日
- 分類號G01N30/32(2006.01)I;
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