摘要：本實(shí)用新型公開一種0.1μm分辨率三坐標(biāo)測量機(jī)，包括：載物平臺(tái)、主動(dòng)活動(dòng)臂、從動(dòng)活動(dòng)臂、鋼帶絕對(duì)光柵尺、讀數(shù)頭和水平橋，所述主動(dòng)活動(dòng)臂、從動(dòng)活動(dòng)臂分別設(shè)置于載物平臺(tái)兩側(cè)，所述主動(dòng)活動(dòng)臂、從動(dòng)活動(dòng)臂各自的上端之間固定有所述水平橋，此水平橋位于載物平臺(tái)正上方；所述鋼帶絕對(duì)光柵尺安裝于機(jī)床上且其與沿x向方向平行設(shè)置，所述讀數(shù)頭設(shè)在工作臺(tái)上，所述鋼帶絕對(duì)光柵尺與工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向平行，所述讀數(shù)頭隨所述工作臺(tái)移動(dòng)，并通過位于讀數(shù)頭內(nèi)部的光電傳感器掃描所述鋼帶絕對(duì)光柵尺上的增量光柵獲得位移量，所述增量光柵中穿插有若干個(gè)絕對(duì)參考點(diǎn)。本實(shí)用新型有效消除往復(fù)測量誤差和機(jī)械配合誤差，同時(shí)因使用光掃描測量法而具備良好的抗污染能力和長期穩(wěn)定性。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人蘇州怡信光電科技有限公司;
- 發(fā)明人陸慶年;陳易輝;
- 地址215151 江蘇省蘇州市新區(qū)楓橋工業(yè)園前橋路288號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201520692789.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年09月09日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204881519U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年12月16日
- 分類號(hào)G01B11/00(2006.01)I;
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