摘要：本實用新型公開一種0.1μm分辨率三坐標測量機，包括：載物平臺、主動活動臂、從動活動臂、鋼帶絕對光柵尺、讀數(shù)頭和水平橋，所述主動活動臂、從動活動臂分別設(shè)置于載物平臺兩側(cè)，所述主動活動臂、從動活動臂各自的上端之間固定有所述水平橋，此水平橋位于載物平臺正上方；所述鋼帶絕對光柵尺安裝于機床上且其與沿x向方向平行設(shè)置，所述讀數(shù)頭設(shè)在工作臺上，所述鋼帶絕對光柵尺與工作臺運動方向平行，所述讀數(shù)頭隨所述工作臺移動，并通過位于讀數(shù)頭內(nèi)部的光電傳感器掃描所述鋼帶絕對光柵尺上的增量光柵獲得位移量，所述增量光柵中穿插有若干個絕對參考點。本實用新型有效消除往復(fù)測量誤差和機械配合誤差，同時因使用光掃描測量法而具備良好的抗污染能力和長期穩(wěn)定性。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州怡信光電科技有限公司;
- 發(fā)明人陸慶年;陳易輝;
- 地址215151 江蘇省蘇州市新區(qū)楓橋工業(yè)園前橋路288號
- 申請?zhí)?/b>CN201520692789.1
- 申請時間2015年09月09日
- 申請公布號CN204881519U
- 申請公布時間2015年12月16日
- 分類號G01B11/00(2006.01)I;
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