摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了電感耦合等離子體質(zhì)譜儀真空閥門(mén)，包括：基座，所述基座具有待密封封口，且具有第一腔室及第二腔室；具有前后伸縮部件的動(dòng)力源裝置；滑動(dòng)系統(tǒng)；封閉裝置等;本實(shí)用新型采用開(kāi)合結(jié)構(gòu)，通過(guò)開(kāi)合來(lái)實(shí)現(xiàn)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)真空，并且開(kāi)啟時(shí)，進(jìn)氣量很小，滿(mǎn)足檢測(cè)需要。同時(shí)此結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可通過(guò)軟件控制，運(yùn)動(dòng)順暢，更適合于儀器整體化設(shè)計(jì)，裝配簡(jiǎn)單，智能化程度高，滿(mǎn)足高真空要求等。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
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