摘要：本實(shí)用新型公開了電感耦合等離子體質(zhì)譜儀真空閥門，包括：基座，所述基座具有待密封封口，且具有第一腔室及第二腔室；具有前后伸縮部件的動(dòng)力源裝置；滑動(dòng)系統(tǒng)；封閉裝置等;本實(shí)用新型采用開合結(jié)構(gòu)，通過開合來實(shí)現(xiàn)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)真空，并且開啟時(shí)，進(jìn)氣量很小，滿足檢測(cè)需要。同時(shí)此結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可通過軟件控制，運(yùn)動(dòng)順暢，更適合于儀器整體化設(shè)計(jì)，裝配簡(jiǎn)單，智能化程度高，滿足高真空要求等。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人江蘇天瑞儀器股份有限公司;
- 發(fā)明人應(yīng)剛;孫克強(qiáng);丁志國(guó);周立;
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- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420661275.5
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年11月07日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN204114169U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2015年01月21日
- 分類號(hào)F16K1/00(2006.01)I;F16K1/32(2006.01)I;F16K31/122(2006.01)I;F16K41/02(2006.01)I;F16K51/02(2006.01)I;
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