摘要：本實(shí)用新型氮化硅薄膜窗口，包括：襯底，在所述襯底上鍍有氮化硅膜；所述氮化硅膜的形狀和尺寸與所述襯底的形狀和尺寸相同；觀測(cè)溝槽，多個(gè)所述觀測(cè)溝槽設(shè)置在所述襯底上，所述觀測(cè)溝槽貫穿所述襯底；標(biāo)記溝槽，所述標(biāo)記溝槽設(shè)置在所述襯底上，所述標(biāo)記溝槽貫穿所述襯底；其中所述觀測(cè)溝槽及所述標(biāo)記溝槽為一倒置的正四棱臺(tái)空穴結(jié)構(gòu)，底面開(kāi)口位于所述襯底上部、頂面開(kāi)口位于所述襯底下部。本實(shí)用新型氮化硅薄膜窗口實(shí)現(xiàn)了保證軟X射線高透過(guò)率的同時(shí)，也保證了較好的應(yīng)力。同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)多樣品的測(cè)量，對(duì)比效果更好。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
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