摘要：本實(shí)用新型為用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀，其特征在于：所述的氦離子化氣相色譜儀包括色譜柱箱、溫控系統(tǒng)、信號(hào)采集處理系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)，所述的信號(hào)采集系統(tǒng)包括氦離子化檢測(cè)器和色譜柱工作站，所述的溫控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)各個(gè)色譜柱和檢測(cè)器的獨(dú)立控溫，并且控制色譜柱溫度按照時(shí)間程序升溫，所述色譜柱工作站的結(jié)構(gòu)包括三個(gè)切換閥、三個(gè)色譜柱、四個(gè)針閥和三個(gè)載氣氣路，所述的三個(gè)切換閥為一個(gè)十通閥和兩個(gè)六通閥，所述的氦離子化檢測(cè)器與色譜柱工作站的線路連接。本實(shí)用新型針對(duì)高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)進(jìn)行分析，通過(guò)氦離子化檢測(cè)器高靈敏度實(shí)現(xiàn)ppb級(jí)別雜質(zhì)分析，實(shí)現(xiàn)一次進(jìn)樣操作即完成對(duì)鍺烷雜質(zhì)的全分析。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人莊鴻濤;郁光;方華;
- 地址200233 上海市徐匯區(qū)田林十村37號(hào)446室
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201320818912.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年12月13日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203672844U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年06月25日
- 分類號(hào)G01N30/02(2006.01)I;G01N30/20(2006.01)I;G01N30/60(2006.01)I;
教育裝備采購(gòu)網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
