摘要：本實用新型為用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀，其特征在于：所述的氦離子化氣相色譜儀包括色譜柱箱、溫控系統(tǒng)、信號采集處理系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)，所述的信號采集系統(tǒng)包括氦離子化檢測器和色譜柱工作站，所述的溫控系統(tǒng)實現(xiàn)各個色譜柱和檢測器的獨立控溫，并且控制色譜柱溫度按照時間程序升溫，所述色譜柱工作站的結(jié)構(gòu)包括三個切換閥、三個色譜柱、四個針閥和三個載氣氣路，所述的三個切換閥為一個十通閥和兩個六通閥，所述的氦離子化檢測器與色譜柱工作站的線路連接。本實用新型針對高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)進行分析，通過氦離子化檢測器高靈敏度實現(xiàn)ppb級別雜質(zhì)分析，實現(xiàn)一次進樣操作即完成對鍺烷雜質(zhì)的全分析。
- 專利類型實用新型
- 申請人上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人莊鴻濤;郁光;方華;
- 地址200233 上海市徐匯區(qū)田林十村37號446室
- 申請?zhí)?/b>CN201320818912.0
- 申請時間2013年12月13日
- 申請公布號CN203672844U
- 申請公布時間2014年06月25日
- 分類號G01N30/02(2006.01)I;G01N30/20(2006.01)I;G01N30/60(2006.01)I;
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