摘要：本實(shí)用新型公開了一種無母籃清洗機(jī)，包括機(jī)架、安裝于機(jī)架上的清洗槽和機(jī)械手，所述機(jī)械手的懸臂位于清洗槽的上方，在懸臂上滑動(dòng)支承有兩運(yùn)動(dòng)方向相反的抓取鉤座，各抓取鉤座均固定設(shè)置有硅片籃抓取鉤，所述清洗槽內(nèi)設(shè)置有硅片籃托盤。該無母籃清洗機(jī)不僅可以在每一工位同時(shí)進(jìn)行數(shù)個(gè)硅片籃的清洗，具有較高的生產(chǎn)效率，而且無需清洗母籃，減少用工，降低使用成本。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人上海思恩電子技術(shù)（東臺(tái)）有限公司;
- 發(fā)明人倪加樂;滕明;陳玉華;陳蒙;
- 地址224200 江蘇省鹽城市東臺(tái)市城東新區(qū)東進(jìn)大道48號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420010717.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年01月09日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203664250U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年06月25日
- 分類號(hào)B08B3/04(2006.01)I;B25J9/00(2006.01)I;B25J9/10(2006.01)I;B25J19/00(2006.01)I;
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