摘要:本發(fā)明公開了一種芯片在線清洗設(shè)備,包括自動送料機(jī)構(gòu)、浸泡式清洗裝置、噴淋式清洗裝置、定位臺。所述浸泡式清洗裝置包括浸洗柜和風(fēng)切機(jī)構(gòu),浸洗柜內(nèi)的設(shè)置進(jìn)料傳送帶、出料傳送帶,進(jìn)料傳送帶與出料傳送帶之間設(shè)置盛裝有浸洗液的浸洗池,浸洗池內(nèi)并排設(shè)置對應(yīng)進(jìn)料傳送帶的第一輸料架、對應(yīng)出料傳送帶的第二輸料架;所述第一輸料架包括同步垂直向下運(yùn)動的兩對輸料帶,兩對輸料帶之間的下部位置設(shè)置滑動于第一輸料架與第二輸料架之間的滑板,第一輸料架與第二輸料架之間的上部位置設(shè)置對應(yīng)出料傳送帶將芯片撥動到出料傳送帶的料機(jī)構(gòu)。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)對芯片長時間的浸泡洗和短時間的噴淋洗,有效去除芯片表面的大顆粒污染物以及微量污染。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人江陰迪林生物電子技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人白向陽;
- 地址214434 江蘇省無錫江陰市砂山路85號B4室
- 申請?zhí)?/b>CN201210279153.5
- 申請時間2012年07月26日
- 申請公布號CN102806212A
- 申請公布時間2012年12月05日
- 分類號B08B3/04(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I;




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