摘要：本實用新型提供一種電感耦合等離子體（ICP）功率線圈的制作裝置，所述制作裝置包括：螺紋模塊，包括圓柱體部和結(jié)合部，圓柱體部的外表面上形成有螺紋槽，以用于形成電感耦合等離子體功率線圈的主體部；矩形模塊，包括分別形成在矩形模塊的上表面和下表面上的凹槽和形成在矩形模塊的側(cè)表面上的結(jié)合槽，凹槽用于形成電感耦合等離子體功率線圈的端部，其中，當(dāng)結(jié)合部插入到結(jié)合槽中時，螺紋模塊與矩形模塊相對固定。根據(jù)本實用新型的實施例的ICP功率線圈的制作裝置，制作出來的ICP功率線圈參數(shù)一致性好，保證了儀器更換新的功率線圈后負(fù)載一致性好，匹配參數(shù)基本保持一致，完全可以免除工程師重新校準(zhǔn)參數(shù)的工作，省時省力。
- 專利類型實用新型
- 申請人鋼研納克檢測技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人羅劍秋;趙英飛;任立志;唐振山;董海洋;
- 地址100081 北京市海淀區(qū)高粱橋斜街13號
- 申請?zhí)?/b>CN201320839155.5
- 申請時間2013年12月18日
- 申請公布號CN203631473U
- 申請公布時間2014年06月04日
- 分類號H01J9/00(2006.01)I;H01F41/04(2006.01)I;
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