摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高效再生低溫泵，包括有泵殼體，泵殼體上端安裝有制冷機(jī)，并設(shè)有與泵殼體內(nèi)腔連通的安全閥和抽氣再生口，泵殼體下端設(shè)有泵口法蘭，泵殼體內(nèi)由上至下分布有制冷機(jī)一級(jí)冷頭和制冷機(jī)二級(jí)冷頭，制冷機(jī)二級(jí)冷頭外罩有冷屏，冷屏內(nèi)設(shè)有吸附陣和障板，冷屏側(cè)壁上開(kāi)有通氣孔。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，采用在冷屏上設(shè)置通氣孔的設(shè)計(jì)，這樣在再生過(guò)程中，從吸附陣表面脫附的氣體分子，可以直接通過(guò)該孔進(jìn)入殼體上端，然后通過(guò)抽氣口排出，避免了所有脫附分子都必須經(jīng)過(guò)障板的問(wèn)題，有效地縮短了低溫泵再生時(shí)間，提高了再生效率。
- 專(zhuān)利類(lèi)型實(shí)用新型
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