摘要：本發(fā)明公開了一種增加低溫泵抽速的方法，采用熱噴涂方法在低溫泵的障板表面生長(zhǎng)一層粗糙的氧化鋁薄膜。本發(fā)明在不改變障板結(jié)構(gòu)、尺寸的前提下，增加了比表面積，能有效提高低溫泵的抽速。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人安徽萬(wàn)瑞冷電科技有限公司;北京航天長(zhǎng)征飛行器研究所;
- 發(fā)明人許令順;武義鋒;徐中堂;仰葉;周家屹;劉得成;南華;李革;陳福泰;
- 地址230088 安徽省合肥市高新區(qū)海棠路189號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310299016.2
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年07月17日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103397999B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年03月16日
- 分類號(hào)F04B37/08(2006.01)I;C23C4/11(2016.01)I;
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