摘要：本實用新型公開了一種太陽能硅電池濕法刻蝕機氣簾保護裝置，包括槽體和蓋板，其特征在于：在槽體的刻蝕段后方設置過渡區(qū)，在過渡區(qū)的后方設置一抽風管；在抽風管的后方加裝一把氣刀，利用氣刀的風力在其覆蓋區(qū)域內(nèi)形成一道氣墻。本實用新型的有益效果是，利用氣簾裝置及其配套的元件所組成的系統(tǒng)，有效的防止了刻蝕段的酸氣擴散。
- 專利類型實用新型
- 申請人蘇州晶洲裝備科技有限公司;
- 發(fā)明人張強;施利君;
- 地址215555 江蘇省常熟市辛莊光伏產(chǎn)業(yè)園光華環(huán)路32號
- 申請?zhí)?/b>CN201220111852.4
- 申請時間2012年03月21日
- 申請公布號CN202601573U
- 申請公布時間2012年12月12日
- 分類號H01L21/306(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
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